FKPT
 
Ultraschall Transducer
 

Hochqualitative Ultraschall-Transducer für alle Bondanwendungen in der Mikroelektronik:

  • Dünndraht Wedge-Wedge Bonden

  • Dünndraht Ball-Wedge Bonden

  • TAB-Bonden

  • Dickdrahtbonden

  • Bonden von dicken Bändchen

  • Diebonden

  • Kundenspezifische Transducer:

Transducer

Wichtige Eigenschaften & Kenngrößen

  • Frequenzbereich von 40 kHz bis 150 kHz

  • beste Materialien

  • speziell selektierte Piezos für hohe Stabilität

  • Transducer "Made in Germany"

 
Dünndraht Wedge-Wedge Transducer
Modell Frequenz   Bemerkungen
FK065D-1 65 kHz    
FK100C-0 102 kHz    
FK100C-3 102,5 kHz   SAW filter model
PTW100A0 102 kHz   für preissensitive Anwendungen
FK120N 119 kHz    
FK140R-1 139,5 kHz    
Wedge Transducers
 
Dünndraht Ball-Wedge Transducer
Modell Frequenz   Bemerkungen
FK066G 66 kHz   kurze Bauform
FK067X 67 kHz   für PHICOM-Bonder
PTB065A0 64,8 kHz   für preissensitive Anwendungen
FK100F-2 106 kHz    
FK120S-2 119 kHz    
FK145P 143,5 kHz    
Ball Transducer
 
Dickdraht & Diebond Transducer
Modell Frequenz   Bemerkungen
FK040-U 40 kHz    
FK065A 57 kHz   Standard Dickdraht Transducer
auch für Diebonden geeignet
FK058HR 57 kHz   Zwei Toolschrauben
FK090Z-1 90 kHz   Standard Diebond Transducer
FK120K 119 kHz    
Dickdraht Transducers
 
TAB-Bond Transducer
Modell Frequenz   Bemerkungen
FK065TAB 65 kHz    
 
Kundenspezifische Transducer
  • Kein geeignetes Modell gefunden?
  • Wir entwickeln den passenden Transducer für Sie.
  • Anfragen bitte per E-Mail an info@fkphysiktechnik.com.

 
Digitale Ultraschall Generatoren
 

Die Ultraschall-Generatorfamilie der Wahl:

  • um jeden Ultraschall-Transducertyp für Draht- und Diebondmaschinen problemlos betreiben zu können

  • für alle Leistungsbereiche von sehr dünnen Drähten bis zu dicken Bändchen

UUG-040

Wichtige Eigenschaften & Kenngrößen

  • Ansteuern von Ultraschall-Transducer aller Marken

  • voll digitale Regelkreise

    • digitale PLL (Phase Lock Loop)

    • digitale Leistungsregelkreise

    • digitale Ansteuerung (Bondleistung & Bondzeit)

  • direkt digitale Synthese des Ultraschalls

  • Messmöglichkeiten beim Bonden

    • Transducerstrom

    • Transducerspannung

    • Impedanz

    • Hinweis: Umfang der Messmöglichkeiten abhängig vom Generatortyp. Weitere Messgrößen auf Anfrage.

 
Dünndraht Generatoren

UUG-050-S

  • Frequenzbereich: (40 - 200) kHz
  • Maximale Ausgangsspannung: 11,5 Vrms
    • Standardtyp

UUG-050-U

  • Frequenzbereich: (40 - 200) kHz
  • Maximale Ausgangsspannung: 11,5 Vrms
    • Ersatztyp für Uthe 10H-P2

UUG-050-N

  • Frequenzbereich: (40 - 200) kHz
  • Maximale Ausgangsspannung: 11,5 Vrms
    • für PHICOM-Bonder

UUG-050-B

  • Frequenzbereich: (40 - 150) kHz
  • Maximale Ausgangsspannung: 25 Vrms
    • erweiterter Leistungsbereich
    • auch für Diebonden bei kleiner Anzahl der Bumps geeignet
UUG-040
  • Mehr Informationen:
  • PDFDatenblatt UUG-050 Serie
 
Dickdraht- und Diebond Generatoren

UUG-040-S

  • Frequenzbereich: (30 - 150) kHz
  • Maximale Ausgangsspannung: 39 Vrms
    • Standardtyp für Dickdrahtbonden
    • Diebonden bei kleiner und mittlerer Bumpanzahl
UUG-040
  • Mehr Informationen:
  • PDFDatenblatt UUG-040

UUG-050-X

  • Frequenzbereich: (40 - 200) kHz
  • Maximale Ausgangsspannung: 100 Vrms
    • zum Bonden dicker Bändchen
    • zum Diebonden bei großen Kräften und hoher Bumpanzahl
UUG-040
  • Mehr Informationen:
  • PDFDatenblatt UUG-050-X
 
Kundenspezifische Generatoren
  • Kein geeignetes Modell gefunden?
  • Bitte kontaktieren Sie uns, falls Sie in dieser Liste keinen passenden Generator für Ihre Anwendung finden. Wir bieten auch kundenspezifische Anpassung existierender Systeme und Spezialenwicklungen nach Ihren Anforderungen.
  • Auswahl an Spezialentwicklungen:

    • Drahtbondgeneratoren
    • Diebondgeneratoren
    • Generatoren für das Waferbonden
    • Generatoren für chemische und biologische Prozesse
    • Generatoren für Messanwendungen
Generatorboard
 
 
 
Messtechnik - Transducer Test System

Das Werkzeug des Bondprozessverantwortlichen, um:

  • die Qualität der Bondverbindungen zu sichern und zu verbessern

  • die Ausbeute zu erhöhen

  • die Fehlerquote zu verringern

  • die Maschinenverfügbarkeit zu erhöhen

TTS-030

Wichtige Eigenschaften & Kenngrößen

  • Jeder Ultraschall-Transducer für Drahtbond- und Diebondmaschinen kann ausgemessen werden
    • unabhängig von Maschinentyp und Hersteller

    • einfache Handhabung

  • Erfassung aller relevanten Messgrößen, wie

    • Resonanzfrequenz

    • Impedanz

    • Phasenwinkel

  • kombinierbar mit optischem Schwingweitenmesssystem der ODS-Serie

  • Zubehör für erweiterte Nutzungsmöglichkeiten

 

Einsatzfelder

  • Erfassung und Dokumentation der elektrischen Eigenschaften des Ultraschallsystems der Bondmaschine
    • vorbeugende Instandhaltung durch regelmäßige Messungen

    • objektive Ursachensuche bei ultraschallbedingten Bondproblemen

    • unabhängige Kontrolle der maschineninternen Zustandsinformationen zum Ultraschallsystem

    • Dokumentation des Iststandes im Qualitätsmanagementsystem

  • Untersuchung des Einflusses des Bondwerkzeuges auf den Ultraschall-Transducer

    • optimale Auswahl und Abstimmung des Bondwerkzeuges für den Bondprozess

  • Ausbildung von Maschinenbedienern und Servicemitarbeitern

    • effizientes Tool zur Visualisierung der Ergebnisse von Arbeiten am Ultraschallsystem

    • Erkennen der Veränderungen durch Wartungsarbeiten

    • Erlernen eines korrekten Toolwechsels

  • Wareneingangskontrolle für Ultraschall-Transducer

TTS-Beispielkurve
 
TTS-030 - wichtige technische Daten
Messgrößen Transducerstrom, Phasenwinkel und Impedanz (als Funktion der Frequenz)

Resonanzfrequenz

Transducerimpedanz in der Resonanzstelle

Schwingweite am Bondwerkzeug (bei Kombination mit einem optischen Schwingweitenmesssystem der ODS-Serie)

Scanbereich
(Frequenzbereich)
20 kHz - 200 kHz
Leistungsbereiche Fine Wire Package: 5W @ 22 Ω

Heavy Wire / Diebond Package: 30W @ 32 Ω

Genauigkeit ± 2,5% (Full Range)
Abmessungen / Gewicht 39cm x 27cm x 16.5cm / 7.95 kg
Abmessungen Koffer 51cm x 41cm x 20cm

Mehr Informationen:

PDFDatenblatt TTS-030

 
Zubehör für TTS-030
  • Transducer Test Set
    • externe Messung von Transducer
      (z.B. bei der Wareneingangskontrolle)

    • Klemmensatz für gängige Tonnendurchmesser
      (0,5“ - 0,6“ - 0,75“ - 13mm & 16mm)

    • Mikromanipulator mit Halterung für Standard-ODS-Sensor

    • Sonderanfertigung von Klemmen auf Anfrage möglich

Test Set
  • Transportkoffer TTS-ODS
    • für TTS-030, ODS-20/ODS-21 und Zubehör

Koffer groß
  • Anschlusskabel für verschiedene Transducer
    • für F&K Delvotec G4 Drahtbonder

KnS-ASM-Kabel
    • für F&K Delvotec G5 Drahtbonder

KnS-ASM-Kabel
    • für KnS und ASM Ballbonder

KnS-ASM-Kabel
    • Sonderanfertigungen auf Anfrage

KnS-ASM-Kabel
 
Messtechnik - Optische Schwingweitenmesssysteme

Das Werkzeug des Bondprozessverantwortlichen, um:

  • Schwingungsamplitude des Bondwerkzeuges zu bestimmen

  • Schwingweitenbasierte Kalibration des Ultraschallsystems der Bondmaschinen durchzuführen

  • Effizienz der Ultraschallschwinger zu evaluieren

  • Korrekte Ausführung eines Toolswechsels zu überprüfen

  • Optional: Bondkrafteinheit der Bondmaschine prüfen und kalibrieren
    (2-in1 System)

ODS-20

Wichtige Eigenschaften & Kenngrößen

  • Schwingweite und Schwingfrequenz der Ultraschall-Transducer für Drahtbond- und Diebondmaschinen bestimmen

    • berührungslos, da optische Messung

    • unabhängig von Maschinentyp und Hersteller

    • einfache Handhabung

    • Standardsensorkopf passt für fast alle modernen Bondmaschinen

    • spezielle Sensorkopfausführungen verfügbar

  • 2-in-1 System: Schwingweiten- und Bondkraftmessung (optional) möglich

  • Erfassung aller relevanten Messgrößen, wie

    • Schwingungsamplitude (peak-peak)
    • Schwingungsfrequenz
    • Bondkraft (optional)
  • kombinierbar mit Transducer Test System TTS-030

  • Zubehör für erweiterte Nutzungsmöglichkeiten

 

Einsatzfelder

  • Schwingweitenbasierte Kalibration der Ultraschallsysteme von Bondmaschinen
    • gleiche Bondparameter für gleiche Produkte über alle Maschinen (des gleichen Typs)

  • Erfassung und Dokumentation der realen Schwingungen am Bondwerkzeug der Bondmaschine

    • vorbeugende Instandhaltung durch regelmäßige Messungen
    • objektive Ursachensuche bei ultraschallbedingten Bondproblemen
    • Dokumentation des Iststandes im Qualitätsmanagementsystem
  • Untersuchung des Einflusses des Bondwerkzeuges auf den Ultraschall-Transducer

    • optimale Auswahl und Abstimmung des Bondwerkzeuges für den Bondprozess
    • Ermittlung der Eigenresonanzen der Bondwerkzeuge bei Kombination mit dem TTS-030 möglich
  • Ausbildung von Maschinenbedienern und Servicemitarbeitern

    • Erkennen der Veränderungen durch Wartungsarbeiten
    • Erlernen eines korrekten Toolwechsels
  • Optional verfügbarer Kraftmesskopf erlaubt Überprüfung und Kalibration des Kraftmesssystems der Bondmaschine

TTS-ODS-Beispiel
 
ODS-20 - Standardmesssystem - wichtige technische Daten
Messgrößen mechanische Schwingung / Amplitude (Spitze-Spitze)

mechanische Schwingfrequenz

Bondkraft (optional)

Schwingweite (mechanisch) bis zu 20 µm (Spitze-Spitze)
Auflösung im Nanometerbereich
Schwingfrequenz 30 kHz - 250 kHz
Bondkraft (optional) bis zu 20 N (2kg)

höhere Kräfte auf Anfrage

Laserklasse Klasse II (eye safe)
sichtbares rotes Licht
Abmessungen / Gewicht
  Sensorkopf 62,8mm x 15mm x 20,1mm / 40g
  Auswerteeinheit 20,5cm x 15,3cm x 8cm / 1,1kg
Abmessungen Koffer 39,2cm x 29,5cm x 10,5cm
Spezialmessköpfe für Shinkawa Ballbonder
TDK Diebonder

siehe Zubehör

Mehr Informationen:

PDFDatenblatt ODS-20

 
ODS-21 - Spezialmesssystem für KnS Ballbonder - wichtige technische Daten
Messgrößen mechanische Schwingung / Amplitude (Spitze-Spitze)

mechanische Schwingfrequenz

Bondkraft (optional)

Schwingweite (mechanisch) bis zu 2 µm (Spitze-Spitze)
Auflösung im Nanometerbereich
Schwingfrequenz 30 kHz - 150 kHz
Bondkraft (optional) bis zu 20 N (2kg)

höhere Kräfte auf Anfrage

Laserklasse Klasse II (eye safe)
sichtbares rotes Licht
Abmessungen / Gewicht
  Sensorkopf 62,8mm x 25,4mm x 18mm / 46g
  Auswerteeinheit 20,5cm x 15,3cm x 8cm / 1,1kg
Abmessungen Koffer 39,2cm x 29,5cm x 10,5cm

Mehr Informationen:

PDFDatenblatt ODS-21

 
Zubehör für optische Schwingweitenmesssysteme
  • Transducer Test Set
    • externe Messung von Transducer
      (z.B. bei der Wareneingangskontrolle)

    • Klemmensatz für gängige Tonnendurchmesser
      (0,5“ - 0,6“ - 0,75“ - 13mm & 16mm)

    • Mikromanipulator mit Halterung für ODS-Sensor

    • Sonderanfertigung von Klemmen auf Anfrage möglich

Test Set
  • Mikromanipulator mit Halterung ODS-Standardkopf
    • zum Einsatz bei manuellen Bondmaschinen (Hybond o.ä.)

Mikromanipulator
  • Spezialsensorkopf
    • für Shinkawa Ballbonder

  • Spezialsensorkopf
    • für TDK Diebonder

 
Messtechnik - Bondkraft Kalibriersystem

Das Werkzeug des Bondprozessverantwortlichen, um:

  • das Bondkraftsystem eines Bonders zu evaluieren

  • das Bondkraftsystem von F&K Delvotec Bondern zu kalibrieren

  • den Kraftverlauf vom Aufsetzen des Bondkopfes bis zum Wiederabheben zu untersuchen

BFS-20

Wichtige Eigenschaften & Kenngrößen

  • Bondkraft statisch und dynamisch messen und aufzeichnen

    • unabhängig von Maschinentyp und Hersteller
    • einfache Handhabung
    • Standardsensorkopf passt für fast alle modernen Bondmaschinen
    • spezielle Sensorkopfausführungen verfügbar
Kraftbeispiel 1
 

Einsatzfelder

  • Überprüfung der applizierten Bondkraft

    • statische Messung
  • Überprüfung eines Kraftverlaufes

    • dynamische Messung
    • Aufsetzverhalten des Bondwerkzeuges
    • Stabilität der applizierten Bondkraft über einen Bondzyklus
  • Kalibration des Bondkraftsystemes

    • automatischer Ablauf bei F&K Delvotec Bonder via Kommunikationsschnittstelle
    • manuelle Kalibration bei anderen Herstellern / Maschinentypen abhängig von den Möglichkeiten der Maschine
Kraftbeispiel 1
 
BFS-20 - wichtige technische Daten
Messgröße Bondkraft (Bondgewicht)
Messbereich bis zu 20 N
höhere Kräfte auf Anfrage
statische und dynamische Messungen
Abmessungen / Gewicht
  Sensorkopf 62,8mm x 15mm x 14mm / 40g
  Auswerteeinheit 20,5cm x 15,3cm x 8cm / 1,1kg
Abmessungen Koffer 39,2cm x 29,5cm x 10,5cm
Spezialmessköpfe für Shinkawa Ballbonder
KnS Ballbonder

Mehr Informationen:

PDFDatenblatt BFS-20

 
Zwei-Strahl-Justierlaser

Das Werkzeug zum:

  • schnellen und einfachen Ausrichtung von optischen Experimenten

  • insbesondere bei Experimenten außerhalb des sichbaren Spektrums

Justierlaser

Wichtige Eigenschaften & Kenngrößen

  • zwei hochgenaue Laserstrahlen in entgegengesetzte Richtungen

  • Akkubetrieb für einfachste Anwendung

  • kompakter Aufbau des Zweistrahl-Justierlasers für einfache Integration in das optische Experiment

Justierlaser
 
LA-01MB-AK - wichtige technische Daten
Laserlichtfarbe rot (635 nm)
Laserklasse Klasse II (eye safe)
Strahldurchmesser ca. 1,4 mm
Strahldivergenz ca. 0,7 mrad
Ausrichtungsfehler zwischen den Strahlen <0,5 mrad
Abmessungen / Gewicht 42mm x 45mm x 75mm / 320g

Mehr Informationen:

PDFDatenblatt LA-01MB-AK

 
Dienstleistungen
 

Ihr Dienstleister mit:

  • langjähriger Expertise zum Ultraschall im Draht- und Diebonden

  • Erfahrungen in Entwicklung und Fertigung von digitalen Ultraschallsystemen für die Chip-Kontaktierung seit 1996

Vibrometer
Unser Serviceangebot
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  • Entwicklung kundenspezifischer Ultraschall-Transducer

  • Entwicklung kundenspezifischer Ultraschall-Generatoren

  • Schwingungsuntersuchungen vor Ort (Laserinterferometrie)

  • Schwingungsuntersuchungen an Kundenbaugruppen (bei uns im Haus)

  • Beratung zum Ultraschall-Bondprozess

  • Bondbarkeitsuntersuchungen

Analysediagramm
Last Modified July 8, 2021